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TCO激光划线设备ULT-1400
TCO激光划线设备ULT-1400
ULT-1400
本设备通过近红外脉冲激光烧蚀法除去玻璃基板上成膜的透明电极（TCO）膜，是一种枚用式激光划线设备。本设备由6个IR激光法阵器和光学系统、Bridge式XY平台（X轴：下轴、Y轴：上轴）、基板搬送机构、集尘机、激光测定机构和控制系统构成。采用光纤激光和花岗岩平台，可实现高精度高稳定性。
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