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卷绕式溅射设备SPW系列
SPW系列卷绕式溅射设备，可用于在塑料薄膜上制造光学膜、金属膜等多层膜。实施成膜腔体内的气氛分离，高功能多层膜可一气成型。
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批次式溅射设备
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批次式溅射设备SV系列
SV系列是立式批次溅射设备。是一种圆盘型可大量处理基板的设备。
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Load-Lock式溅射设备
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Load-lock式溅射设备CS-200
Load-Lock式溅射设备CS-200从研究开发到小规模生产都可以对应。
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In-Line式溅射设备
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In-Line式溅射设备
SMD 系列是镀金属膜、ITO、IGZO、诱电体膜等的枚叶式溅射镀膜设备。仅SMD系列就有超过1000台的丰富的采用实绩，在各种各样的生产环境下运转。及时反映从生产现场听取的意见，进一步提高设备的可靠性
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