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批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300
批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300
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批处理式自然氧化膜去除设备RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等难以去除的自然氧化膜的批处理式预清洗装置?？纱?00mm，300mm尺寸晶圆。
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