领先的尖端薄膜材料，ULVAC的半导体用靶材，以
?低particle
?均匀的薄膜厚度分布
?使用效率高
作为品质目标，对每种材料研讨制造方法，进而开发制造的高品质溅射靶。

ULVAC制造和销售IGZO TAOS（使用In，Ga，Zn，O透明Amorphous氧化物半导体）中使用的IGZO靶。 为了抑制particle，靶材的高密度化?减少靶材的分割数量，正在向全球大多数显示器制造商提供高质量的IGZO靶材，IGZO用溅射设备和IGZO工艺。 此外，ULVAC成功开发出长度约为3米的大型IGZO靶材。 期待这个大大型的IGZO靶材将彻底解决TFT特性的劣化。