钛升华泵（GGT-3、PGT系列），钛合金在真空中直接通电使得钛升华的单元。升华的钛在周围壁面制造大量活性金属表面，吸附化学性能活泼的气体（H2、N2、O2、H2O、CO、CO2）进行排气。钛的活性金属表面不具备对非活性气体（He、Ne、Ar、CH4、C2H6、其他有机气体）的吸附能力，所以要和涡轮分子泵、溅射离子泵等配合使用。