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涡轮分子泵
控制器一体型涡轮分子泵UTM-MI系列
控制器一体型涡轮分子泵UTM-MI系列
UTM-MI系列
采用磁气轴受的控制器一体型涡轮分子泵。由于泵本体和控制器一体化，可以实现省配线、省空间。
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