产品中心_爱发科商贸(上海)有限公司

蒸发设备

蒸发设备

批次式EI系列

批次式高真空ei系列，是一种在基板上制作金属或氧化膜的设备。
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刻蚀设备

刻蚀设备

干法刻蚀设备

对应LED量产专用的干法刻蚀设备?NE-950EX?相对我司以往设备实现了140%的生产力。
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溅射设备

溅射设备

SMD 系列

SMD 系列是镀金属膜、ITO、IGZO、诱电体膜等的枚叶式溅射镀膜设备。
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去胶设备

去胶设备

NA-1500

从关键的新世代晶圆制程到晶圆级封装，Luminous NA系列可对应广范围的各类晶圆尺寸的各类工艺需求。
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离子注入设备

离子注入设备

高温离子注入设备

搭载了高温ESC（静电吸附卡盘）的面向SiC量产用的高能粒子注入装置。
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CVD设备

CVD设备

CC-200

CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚叶式CVD设备。
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真空泵

真空泵

干泵LS系列

爱发科拥有品类十分齐全的干泵、油泵、低温泵、分子泵等等，并提供各种泵的问题诊断和维修服务。
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真空计

真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN系列

包含了从大气压开始到真空为止测定的皮拉尼真空计。变送器型真空计是采用传感器和计量回路一体设计（也有分离型），实现省装置成本，省安装空间，省配线的目的。
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检漏仪

检漏仪

检漏仪HELIOT 900系列

爱发科的检漏仪是可对应He检漏的全部需求的全自动检漏装置。
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真空搬运机械手

真空搬运机械手

真空搬送机械手ELEC-RZ

爱发科作为技术和经验丰富的真空器械厂家，爱发科的真空机械手是一种具有洁净且信赖性高的搬送平台。
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软件

软件

设备诊断系统 FABISEQ

通过FABISEQ可采集工艺设备的数据，在软件上进行图表显示。通过设备数据的可视化，可调查发生不良的原因和经过，实现工艺安定性的观察
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光学工艺模拟器

光学工艺模拟器

光学工艺模拟器Optius

通过测定等离子体的发光图线，可实时监视各种各样的等离子体工艺的状况。最适用于反应性溅射的MFC控制和刻蚀的终点检出等。
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高功能材料

高功能材料

Ta、Nb板

爱发科制的Ta、Nb板，粒径精细而均一。因此，冲压成品率高，冲压加工后的表面粗糙少，可获得强度、特性均一的金属箔
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纳米金属油墨

纳米金属油墨

纳米金属油墨

爱发科特有的通过气体中蒸发法制作的纳米金属油墨，不存在溶剂中凝集的现象，安定地分散的新型导电性油墨。通过喷墨打印法可直接形成微细配线的图形。
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溅射靶材

溅射靶材

铜合金靶材

爱发科制造面向各种领域的溅射靶材，提供精制和精密加工的高功能材料、面向电极膜或配线等的薄膜精製和精密加工的喷墨打印设备的纳米油墨等。
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