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ULVAC uGmni 系列通用多工艺平台--新刻蚀?？榉⒉?/div>
2021-12-28

超过800个modules的销售实绩 GaAs、InP、GaN、SiC等化合物半导体 SAW/BAW、功率器件等的金属布线 Piezo-MEMS的PZT和AlScN等压电膜
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第五届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会2021年学术年会成功举办

2021-11-25

11月19-20日，以“新材料，新能源，新机会”为主题的广东省真空学会2021年学术年会在广州举行?；嵋樘教终婵招幸翟谛虏牧?、新能源开发热潮中的新机会。爱发科商贸（上海
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爱发科集团出展第23届中国国际光电博览会

2021-09-20

第23届中国国际光电博览会于9月16日至18日在深圳国际会展中心圆满举办。展会分为信息通信、激光、红外、紫外、精密光学、镜头及模组、光传感等版块，可以一站式了解光电产业
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ULVAC面向5G通信器件的亚纳米平坦化用离子修复设备"IM-2000"开始销售

2021-08-23

ULVAC离子修复设备是面向5G高频滤波器的，基于在SAW和BAW器件上形成的氧化硅膜和氮化硅膜的薄膜厚度数据，在亚纳米范围内控制薄膜厚度，实现±1.0nm以下的平坦度。
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爱发科集团出展第十六届国际真空展览会

2021-05-28

由中国真空学会主办的第十六届国际真空展览会于2021年5月26-28日在北京国家会议中心举行。
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公司新闻

ULVAC uGmni 系列通用多工艺平台--新刻蚀?？榉⒉?/div>

第五届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会2021年学术年会成功举办

爱发科集团出展第23届中国国际光电博览会

ULVAC面向5G通信器件的亚纳米平坦化用离子修复设备"IM-2000"开始销售

爱发科集团出展第十六届国际真空展览会

ULVAC参加【2021功率半导体与车用LED技术创新应用论坛】探讨碳化硅功率器件制造量产技术

爱发科集团出展SEMICON China 2021

意法半导体与A*STAR和ULVAC携手合作，在新加坡成立世界首个“Lab-in-Fab”实验室，推进压电MEMS技术应用

展会活动

爱发科集团出展第十六届国际真空展览会

由中国真空学会主办的第十六届国际真空展览会于2021年5月26-28日在北京国家会议中心举行。

爱发科集团出展SEMICON China 2021

一年一度的半导体行业盛会SEMICON/FPD China 2021于3月17~19日在上海新国际博览中心举行，ULVAC集团在N1馆1101展位出展。面向数据中心＆5G通信、功能器件&先进封装、新能源＆轨道交通、真空配套装置四个领域展示ULVAC最新技术和产品。

打造中国MEMS领域良好生态链，ULVAC亮相第十一届中国国际纳米技术产业博览会

打造中国MEMS领域良好生态链，ULVAC亮相第十一届中国国际纳米技术产业博览会关于纳博会 CHInano 2020 第十一届中国国际纳米技术产业博览会于2020年10月28~30日在苏

行业活动

上海真空学会一行应邀访问ULVAC日本总公司

2019年9月3日~4日，上海真空学会及会员单位一行19人来访ULVAC日本总公司。双方进行了友好、深入且富有成效的交流。期间，双方相互交换了纪念礼物，并进行了相互间的企业介绍，爱发科总部见学，晚宴，参观日本真空展爱发科展台等一系列活动。除了加深相互之间的了解，也从中发现了很多可以相互合作的机会。

爱发科参加异质结与薄膜太阳电池论坛，就我司设备发展做演讲

为了开拓太阳能电池设备市场，爱发科作为主赞助商发表了爱发科设备发展动向。针对新型异质结太阳电池，爱发科提供钝化层非晶硅Cat-CVD设备(热丝CVD)和高迁移率TCO溅射设备，业界同仁对Cat-CVD只有爱发科一家提供表示了稍许的担心。

爱发科成功参加Ncap & Yole 先进封装及系统集成研讨会

2019年4月22日-4月23日，第五届先进封装及系统集成研讨会在上海证大美爵酒店成功举办。本次研讨会由华进和Yole共同主办，爱发科进行了倾情赞助。

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